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                          真空油:油擴散泵的常見故障及原因

                          来源:    作者:    发布时间:2012-11-12 11:02    浏览量:244

                           

                          【惠豐潤滑油提供:油擴散泵的常見故障及原因】

                          由于真空設備長期運轉及其它一些因素的影響,擴散泵的性能可能會逐漸變壞,現將使用中經常出現的一些問題如述如下;

                          1) 极限真空变低
                              原因: a.系统中有渗漏;
                                     b.系统太脏;
                                     c.泵油污染;
                                     d.加热功率不够;
                                     e.冷却水不足;
                                     f.过量或过冷的冷却水;
                                     g.前级压力高;检查密封性能及前级管道是否有泄漏现象;
                                     h.快冷管内有水。

                          2) 抽气较慢
                              原因: a.加热功率低;
                                     b.油量不足;
                                     c.喷帽安装位置不当或受损。

                          3) 进口压力波动
                              原因: a.加热器输入功率不当;
                                     b.油脱气;
                                     c.擴散泵進口前面系統有滲漏。

                          4) 工作腔污染大
                              原因: a.前级压力高;
                                     b.在高于10-1Pa压力下长期工作;
                                     c.系统操作有误。

                          5) 返油率过大:
                              原因: a. 顶喷嘴帽松动,间隙过大;
                                     b. 加热功率不对

                           

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